Gas-Mixer

Mengenflussgeregelter Drei-Port-Gasmischer
Gasmischer für EM-KLEEN und SEMI-KLEEN Serie Remote-Plasmaquellen

Manche Anwendungen benötigen mehrere Prozessgase, die zusätzlich noch miteinander gemischt werden können. Die Remote-Plasmaquellen der EM-KLEEN und SEMI-KLEEN Serie verfügen jedoch nur über einen Gasanschluss. In diesem Fall kommt der PIE Scientific Gas-Mixer zum Einsatz, der zwischen die verschiedenen Gasquellen und die Plasmaquelle geschaltet wird.

Der PIE Scientific Drei-Port-Gasmischer verfügt über drei mengenflussgeregelte Gaseinlässe, einen Belüftungs-Bypass für den Pumpenanschluss sowie einen Auslass für das Gasgemisch. Dieser Gasauslass wird an den Gaseinlass des EM-KLEEN bzw. SEMI-KLEEN angeschlossen. Sollte eine hochreine Gasversorgung benötigt werden, bietet der Belüftungs-Bypass für den Pumpenanschluss einen hochleitfähigen Pumpweg zur Evakuierung des Gasschlauchs.

ModellGas-Mixer
Eingängedrei mengenflussgeregelte Gaseinlässe
Ausgänge
ein Auslass für das fertige Gasgemisch
SchnellentlüftungBelüftungs-Bypass zur Kammerbelüftung und zum Abpumpen des Gasschlauchs mit hoher Geschwindigkeit
Bedienungüber Touchscreen Userinterface
AnzeigenAuswahl des Gastyps, eingestellter Gasfluss, gemessener Gasfluss, Timer, Servo Geschwindigkeit
SonstigesDurchflusskompensation für verschiedene Gassorten,
integrierter Timer
Gerätemaße (B/H/T)200 x 120 x 380 mm
StromversorgungUniversal (110~230 V, 50/60 Hz)