Multifunktions-Plasma-Systeme

Innovative Qualitätsprodukte für Probenreinigung, Ätzung,  Oberflächenbehandlung / -aktivierung

PIE steht für Plasma, Ionen und Elektronen. Die Firma PIE Scientific hat sich auf Ionen- und Elektronenstrahlprodukte sowie die Entwicklung von Plasmaquellen und deren Anwendungen spezialisiert.
Bisher am Markt befindliche Plasmasysteme zur Reinigung, reaktiven Ätzung und Modifikation der Oberflächenbeschaffenheit von Materialien basieren auf Jahrzehntealten Technologien zur Plasmaerzeugung. Das von PIE Scientific entwickelte und patentierte SmartClean™ Verfahren hingegen setzt auf modernste High-End-Technologie. Die Anwendungsgebiete der PIE Scientific Plasmacleaner liegen in der Elektronenmikroskopie, Ionenmikroskopie, Medizin, Forschung und Industrie.

Tergeo Tabletop-Plasmacleaner ›

  • REM / TEM Probenreinigung zur Entfernung von Kohlenwasserstoffverunreinigungen
  • Plasmabehandlung für hydrophile oder hydrophobe Benetzbarkeit
  • Oberflächenpräparation zur Verbesserung der Haftfähigkeit
  • Verbesserung der Benetzbarkeit bei MEMS Mikrofluidelementen
  • Aktivierung und Sterilisierung medizinischer Instrumente
  • Ätzung von Fotowiderständen und Wafern
  • Gerätedekapsulation für Fehleranalyse

KLEEN Downstream-Plasmacleaner ›

  • Bis zu drei mengenflussgeregelte Gaseinlässe
  • Durchflusskompensation für verschiedene Gassorten
  • Aktiver Belüftungs-Bypass zur Kammerbelüftung
  • Touchscreen Userinterface und Timer

Gas-Mixer ›

  • Bis zu drei mengenflussgeregelte Gaseinlässe
  • Durchflusskompensation für verschiedene Gassorten
  • Aktiver Belüftungs-Bypass zur Kammerbelüftung
  • Touchscreen Userinterface und Timer