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FIB-REM Serien

 

 

Rasterelektronenmikroskop Serien
Focused Ion Beam Serien
Spezial REM und FIB-REM Serien

 

 

TESCAN Ultra-High Resolution jetzt mit Triglav™ Elektronensäule

 

 

i-FIB und HR i-FIB Ionensäulen

 

 

Anwendungsgebiete

TESCAN Rasterelektronenmikroskope und Focused Ion Beam Mikroskope haben sich in den letzten Jahrzehnten in den verschiedensten Sparten von Industrie, Forschung, Wissenschaft und Lehre bewährt.
 

Dabei werden sie von Anwendern für ihre sehr guten Abbildungsergebnisse, ihre Qualität, den verlässlichen Betrieb, die Benutzerfreundlichkeit und das sehr gute Preis- / Leistungsverhältnis geschätzt.
 

Einige Einsatzgebiete der TESCAN Rasterelektronenmikroskope,
W-REM, LaB6-REM, FE-REM, UHR FE-REM, FIB-REM und PFIB-REM

Industrie
Forschung
Entwicklung
Qualitätskontrolle
Materialwissenschaft
Materialprüfung
Härteprüfung
Forensik

Life Sciences
Nanotechnologie
Halbleitertechnik
TEM Lamellen
TSV Analyse
3D-Messtechnik
3D-Tomographie
3D-Topographie

Lithographie
Archäologie
Mineralogie
Bergbauindustrie
Mineralverarbeitung
Schadstoffuntersuchung
Feinstaubuntersuchung
Wissenschaft

SEM-Applications

www.sem-applications.com

Auf seiner neuen, zusätzlichen Info-Website bietet der Hersteller TESCAN zahlreiche Bild- und Applikationsbeispiele aus den Bereichen Life Sciences, Earth Sciences, Materials Science und Semiconductors.
 

Mit der Betätigung dieser Links
verlassen Sie unser Informationsangebot.

 

 

 

 

EDX, WDX, EBIC, EBSD, KL, TE, SE, RE/BSE, AE, LVSTD, GSR, AFM, TOF-SIMS, Nanomanipulatoren und mehr
Zubehör / Analysensysteme

Analysensysteme

Je nach Geräteserie und Kammer sind die TESCAN Systeme bereits standardmäßig mit einigen Detektoren ausgestattet.
Dank der durchdachten Kammergeometrie können optional viele weitere Detektoren und Nanomanipulatoren in bzw. an der Kammer untergebracht werden.
 
Neben TESCAN Detektoren haben wir Analysensysteme aller führender Hersteller im Angebot, die individuell auf den Kunden und seine analytischen Aufgabenstellungen zusammengestellt werden können.
 
Zudem bieten wir Lösungen für Mess- und Prüfverfahren, wie die 3D Messung oder die Nanoindentierung (Nanoindentation) im Rasterelektronenmikroskop.

Zubehör

Passend zu seinen Gerätesystemen
bietet TESCAN eine Vielzahl an Zubehör, Erweiterungsmöglichkeiten sowie Spezialsoftware an. Dazu gehören beispielsweise das Control Panel, der Peltier Kühltisch, der Optical Stage Navigator, die Manual oder Automated LoadLock Probenschleusen und verschiedene Cryo Systeme.
 

Custom Lösungen

Obwohl bereits serienmäßig mehrere unterschiedliche Probenhalter mitgeliefert werden, kann es im Einzelfall schwierig sein, eine Probe zu spannen. In diesem Fall versuchen wir eine Lösung mit Spezialkonstruktionen für Sie zu finden.
 

 

 

 

Kammertypen / Vakuumsysteme

Kammertypen

Die Firma TESCAN bietet bei ihren REM und FIB-REM Serien je nach Einsatzweck, Anzahl und Art benötigter Analysensysteme, vorhandenem Platz und Budget mehrere Kammertypen zur Auswahl an.
 
Das durchdachte Kammerdesign mit optimierter analytischer Geometrie erlaubt die gleichzeitige Adaption von EDX, WDX und EBSD Systemen. Viele andere Analyseverfahren sind möglich.
 
LM, XM und GM Kammern sind entweder standardmäßig oder optional mit aktivem Schwingungsdämpfungssystem erhältlich.
 
Nähere Infos, Daten und Details zu den Kammerntypen, wie Maße oder Anzahl der Kammerports, auf Anfrage bzw. auf unserer Internet-Hauptseite .
 

Vakuumsysteme

Die meisten TESCAN REM und FIB-REM sowohl als High Vac (Hochvakuum), wie auch als Uni Vac (Hoch-, Medium-, Niedervakuum) Variante erhältlich.
 

LYRA Kammer

 

Geräteserien

Kammer

Vakuum

SB

LM

XM

GM

XL

AM

High

Uni

VEGA W REM

X

X

X

O

O

X

X

MIRA FE REM

X

X

X

O

X

X

MAIA UHR FE REM

X

X

X

X

X

LYRA FE FIB-REM

X

X

X

X

FERA FE PFIB-REM

X

X

X

X

GAIA UHR FE FIB-REM

X

X

X

X

XEIA UHR FE PFIB-REM

X

X

X

X

EasyProbe REM

X

X

X

TIMA REM

X

X

X

X

TRACE GSR REM

X

X

X

X

X

RISE (FIB-) REM

X

X

EOSCAN REM

X

X

X = Standard, O = Option, — = nicht erhältlich

Für Beispielbilder Piktogramme klicken

BeispielbildBeispielbildBeispielbildBeispielbildBeispielbildBeispielbild
SB KammerLM KammerXM KammerGM KammerCS KammerAM KammerHigh Vac (Hochvakuum)Uni Vac (Hoch- / Medium- / Niedervakuum)

 

 

 

REM Electron Guns / Kathodensysteme

Electron Gun

Alle REM und FIB-REM sind mit einzigartiger MehrlinsenElektronenoptik ausgestattet. Die von TESCAN entwickelte Wide Field Optics™ optimiert automatisch den Strahldurchmesser (COSS = Computer Optimised Spot Size).
 
Dem Benutzer stehen drei bzw. fünf Abbildungsmodi zur Verfügung, die für verschiedene Anwendungen optimiert sind. Die vollständige PC-Steuerung des optischen Systems erlaubt einfaches und schnelles Umschalten zwischen den Arbeitsmodi mit voreingestellten Arbeitsparametern.
In Kombination mit den automatisierten Prozeduren für die Inflight Beam Tracing™ Strahloptimierung, Strahljustierung, Astigmatismus-Korrektur und Fokussierung bietet sie dem Anwender höchsten Komfort und eine gute Reproduzierbarkeit der Arbeitsergebnisse.
 

Beam Deceleration (BDT)

Fast alle TESCAN REM und FIB-REM Modelle mit FE-Kathodensystem sind optional auch als Variante mit Beam Deceleration Technology (BDT) erhältlich. BDT erlaubt eine bessere Auflösung im Niederenergiebereich, wodurch feinste Details abgebildet werden können.
 

Kathodensysteme

Die REM der TESCAN VEGA Serie sind sowohl mit Wolfram-, als auch mit LaB6-Kathodensystem erhältlich.
Für Anwender, die eine extrem hohe Kathodenstandzeit benötigen, bietet sich ein VEGA LaB6-Gerät an, das mit einer Wolfram-Kathode bestückt ist. Dann beträgt die Standzeit ca. 2500 Stunden.
 
Die anderen Serien, wie MIRA, MAIA, LYRA, FERA, GAIA und XEIA sind mit thermischer Schottky Feldemissionskathode für hochauflösende Bilder ausgestattet.
 

Triglav™ UHR-Säule

Die TESCAN MAIA REM sowie GAIA und XEIA (P)FIB-REM mit FE-Kathodensystem verfügen seit Mitte 2016 über die neuartige, höchstauflösende Triglav™ Ultra-High Resolution Elektronensäule.
Die Triglav™ Elektronensäule beinhaltet unter anderem die innovative TriLens™ Elektronenoptik, die optische Aberrationen erheblich minimiert und große Vorteile bei der Analytik bringt.

Weitere Informationen hier
 

WolframkathodenWolframkathoden, ca. 2500 Stunden StandzeitLaB6-KathodenFeldemissionskathodenBeam Deceleration Technology (BDT)Triglav™ UHR-ElektronensäuleIn-Beam Detektoren (SE/BSE)

 

 

 

 

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